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Journal of vacuum science and technology B Microelectronics and nanometer structures: processing, measuremnt, and phenomena.
Record details
- ISSN: 1071-1023
- Physical Description: 5 volúmenes: ilustraciones a color; 28 cm.
- Publisher: Melville, NY: American Vacuum Society, c2002.
Content descriptions
| General Note: | Cambio de suscripción: de formato impreso a electrónico. Incluye índice onomástico. |
| Citation/References Note: | <a href=http://admin-apps.webofknowledge.com/JCR/JCR?PointOfEntry=Home&SID=2BCJ7JSdTZhvyIDygTD>Journal Citation Reports</a> <a href=http://www.scopus.com/;jsessionid=913887C58E8FAAAFA3E1EE7429534A6B.euC1gMODexYlPkQec4u1Q>SciVerse Scopus</a> |
| Numbering Peculiarities Note: | Incluye varias numeraciones de edición especial. |
| Additional Physical Form available Note: | También disponible en formato electrónico: <a href=>Texto completo</a> |
| Language Note: | En inglés. |
| Issuing Body Note: | En colaboración con: American Institute of Physics. |
| Source of Description Note: | Descripción basada en: volúmen 20, no. 1 (Enero 2002); título de la portada. |
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| Subject: | Tecnología del vacío > Revistas. Microelectrónica > Revistas. |
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| Location | Call Number / Copy Notes | Barcode | Shelving Location | Status | Due Date |
|---|---|---|---|---|---|
| Biblioteca Ipicyt | TJ940 J6 2002 | 000000038 | Coleccion retrospectiva | Available | - |
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